±0.1精度主軸冷卻器在（zài）劃片機晶（jīng）圓加工工藝中的應用

    隨著越來越多（duō）行業精密加工的需（xū）求，特別是半導體晶元加工方麵，不單（dān）單對環境恒（héng）溫恒濕及淨化等級方麵的（de）環境要求，同時對加工（gōng）機器主軸的精確恒（héng）溫冷卻更是（shì）要求嚴格，隻（zhī）有保證了（le）機器的精確度才能保證加工出產品的精度。

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